Закрыть
Авторизация
Логин:
Пароль:

Забыли пароль?

11 октября 2022 г. в 15:00 состоится семинар лаборатории Нанотехнологии композитных материалов и тонкопленочный структур (под рук. к.т.н. И.А. Рыжикова)

11 октября 2022 г. в 15:00 состоится семинар лаборатории  Нанотехнологии композитных материалов  и тонкопленочный структур (под рук. к.т.н. И.А. Рыжикова)  
Адрес: 
Ижорская, д.13, стр. 6, комн. 213
 
Автор доклада: 
Полозов Виктор Иванович (ИТПЭ РАН)

Тема доклада: 
Тонкие плёнки оксидов ванадия для электродинамических приложений
(Диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук, специальность 1.3.13 – Электрофизика, электрофизические установки, научный руководитель к.ф.-м.н. Маклаков Сергей Сергеевич)

Аннотация:
Работа посвящена созданию устройств для СВЧ диапазона с управляемым частотным откликом, на основе тонких плёнок диоксида ванадия, обладающего переходом полупроводник-металл (ППМ). Разработан метод получения тонких поликристаллических плёнок оксида ванадия (II) с интенсивным переходом ППМ. Метод включает две стадии: реактивное магнетронное распыление и фазообразующий отжиг. Определена взаимосвязь между строением и электрофизическими свойствами полученных тонких плёнок. Показано, что основные факторы, позволяющие получать плёнки с интенсивным переходом - релаксация внутренних механических напряжений, рост кристаллитов и снижение дефектности плёнки. Показано, что при инициировании перехода приложением внешнего электрического поля, переход происходит в режиме с обострением вне зависимости от кристаллической структуры плёнки. На основе полученных плёнок создан управляемый экран (частотно-селективная поверхность) для сантиметрового диапазона длин волн с коэффициентом прохождения (КП), изменяющимся на 9 дБ при ППМ. Также создан управляемый экран, представляющий собой массив плоскопараллельных волноводов, который при нагреве выше температуры ППМ изменяет коэффициент поглощения на -10 дБ в диапазоне 6 – 24 ГГц. С применением фотолитографии разработан и создан микрополосковый СВЧ переключатель, обеспечивающий изменение коэффициента прохождения электромагнитной волны на частотах до 5 ГГц на величину 20 дБ при ППМ.


Возврат к списку